OLED Equipment
Cluster Type
在中央以TM（Transfer Module，输送chamber）为标准，配置各PM（Process Module, 工艺chamber –
电子层、电孔层、有机物层等功能性薄膜chamber），用Vacuum robot 构建物流的方式
- 核心技术
- 基于镀膜工艺顺序的TM ↔ PM间基板（Substrate）输送物流技术
- 精密镀膜Pattern成形与Auto Aligner技术
- 研发防止基板下垂技术与Auto Feeding System（可长时间连续镀膜）
- 研发Plasma Treatment技术
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Cluster Type大型镀膜设备SUNICEL Plus 1850
- 6GH 925 * 1500面板设备
- 高清晰度手机产品
- 智能手机与柔性显示器
- 主要客户公司：AMOLED面板制造商
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Cluster Type中型镀膜设备SUNICEL Plus 700
- 45GH 730 * 470 面板设备
- AMOLED PANEL PILOT量产与研发用
- 主要客户公司：AMOLED面板制造商
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Cluster Type中型镀膜设备SUNICEL Plus 400
- 2GH 370 * 470 面板设备
- AMOLED PANEL PILOT量产与研发用
- PMOLED面板量产用
- 主要客户公司：AMOLED与PMOLED面板制造商
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Cluster Type小型镀膜设备SUNICEL Plus 200
- • 1GH 200 * 200 评估材料与QC
- 用于开发材料及验证
- 用于器件产品开发研究。
- 主要客户公司：AMOLED面板制造商、国内外OLED 材料厂商
OLED Equipment
Inline Type
照明用OLED与W-OLED大型OLED面板制造中使用的高生产率、高效率镀膜设备
为了实现高生产率，采用通过Rail结构的In-Line物流方式，搭载Linear Source的上行镀膜方式
不同于Cluster Type，采用单列方式。
- 核心技术
- 通过线性蒸发源镀膜方式（有机物镀膜用linear Source），可涂镀各种有机材料
- 通过点蒸发源排列方式（金属镀膜用Point Source），可涂镀无机物
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Inline Type中型镀膜设备SUNICEL Plus 400L
- 2GH 370 * 470 面板设备
- OLED照明研发与量产
- WOLED设备研发
- 主要客户公司：国内外照明面板制造商
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Inline Type小型镀膜设备SUNICEL Plus 200L
- 1GH 200 * 200 面板设备
- OLED照明研发
- WOLED设备研发
- 主要客户公司：研究所与照明面板制造商
